純水指的是不含雜質(zhì)的  。從學(xué)術(shù)角度講，純水又名高純水，是指化學(xué)純度極高的水，其主要應(yīng)用在生物、 化學(xué)化工、冶金、宇航、電力等領(lǐng)域，但其對(duì)水質(zhì)純度要求相當(dāng)高，所以一般應(yīng)用普遍的還是電子工業(yè)。例如電力系統(tǒng)所用的純水，要求各雜質(zhì)含量低達(dá)到“微克/升”級(jí)。在純水的制作中，水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)所規(guī)定的各項(xiàng)指標(biāo)應(yīng)該根據(jù)電子(微電子)元器件(或材料)的生產(chǎn)工藝而定(如普遍認(rèn)為造成電路性能破壞的顆粒物質(zhì)的尺寸為其線寬的1/5-1/10)，但由于微電子技術(shù)的復(fù)雜性和影響產(chǎn)品質(zhì)量的因素繁多，至今尚無一份由工藝試驗(yàn)得到的適用于某種電路生產(chǎn)的完整的水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。

超純水是極為接近高純度的水，即除了氫離子與氧離子，幾乎沒有任何其他電解質(zhì)存在的水。在制造處理過程后能盡可能將溶在水中或在水中散播的各種雜質(zhì)除去，包含像是 有機(jī)物、細(xì)菌、塵埃、氧化物 等任何物質(zhì)。根據(jù)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，隨著制程的開發(fā)，使得晶圓線路更加細(xì)致，所使用的清洗用水，也需要更加提升。為了介于以往的純水名稱，故命名為超純水。 電阻率約達(dá)到18.2MΩ-cm，幾乎不能導(dǎo)電，依據(jù)電子行業(yè)超純水標(biāo)準(zhǔn)，還有很多其他的指標(biāo)要求。超純水主要使用在晶圓洗凈，將經(jīng)過蝕刻之晶圓進(jìn)行洗凈，去除晶圓表面殘留氫氟酸等溶液。經(jīng)由多重過濾，離子交換，除氣，逆滲透，紫外線，超濾，奈米濾，離子吸附過濾所產(chǎn)生超純水。

超純水是美國(guó)科技界為了研制超純材料應(yīng)用蒸餾、去離子化、反滲透技術(shù)或其它適當(dāng)?shù)某R界精細(xì)技術(shù)生產(chǎn)出來的水，這種水中除了水分子（H20）外，幾乎沒有什么雜質(zhì)，更沒有細(xì)菌、、含氯二惡英等有機(jī)物，當(dāng)然也沒有人體所需的礦物質(zhì)微量元素，一般不可直接飲用，對(duì)身體有害，會(huì)析出人體中很多離子。